Шемахин Александр Юрьевич, Абдуллин Ильдар Шаукатович, Желтухин Виктор Семенович, Макеева Елена Александровна

Казанский (Приволжский) федеральный университет, НПО «Плазма ВСТ»

Проведены экспериментальные измерения параметров струйного высокочастотного индукционного разряда пониженного давления в разрядной камере и пламенной струе, измерения энергии ионов и плотности ионного тока на поверхности образца, а также проведена валидация математической модели струйного ВЧИ-разряда пониженного давления на экспериментальных данных. Установлено, что струйный ВЧИ-разряд пониженного давления в диапазоне давлений 13,3-133 Па является отдельной разновидностью высокочастотного разряда пониженного давления комбинированного типа, который отличается как от ВЧИ-разряда в потоке газа атмосферного давления с соленоидальным индуктором, так и от ВЧИ-разряда низкого давления в плазмотроне с плоской спиральной антенной, и от ВЧИ-разряда низкого давления с соленоидальным индуктором.

струйный ВЧИ-разряд, пониженное давление, поток плазмы, экспериментальные исследования, валидация модели